<< GB 500--73-2001國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 >>潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,GB 50073-2001
1 總則
1.0.1 潔凈廠房設(shè)計(jì)必須做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、確保質(zhì)量，并應(yīng)符合節(jié)約能源、勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建潔凈廠房的設(shè)計(jì)。
1.0.3 潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修測(cè)試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。
1.0.4 潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的有關(guān)強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的規(guī)定。
2 術(shù)語(yǔ)
2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動(dòng)式潔凈小室 clean booth
可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室。有剛性或薄膜圍檔兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。對(duì)離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 macroparticle
具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air pattern
對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow
與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow
與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。
2.0.18 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區(qū)域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.22傳遞窗pass box
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)裝有不能同時(shí)開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺(tái) clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺(tái)。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
2.0.26 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員。
2.0.27 動(dòng)態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。
2.0.28 檢漏試驗(yàn) leakage test
檢查空氣過(guò)濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗(yàn)。
2.0.29高效空氣過(guò)濾器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）
在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過(guò)濾器。
2.0.30 超高效空氣過(guò)濾器 ULPA（ultra low penetration airfilter）
在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過(guò)濾器。
2.0.31 純水 purity water
對(duì)電解質(zhì)雜質(zhì)含量（常以電阻率表征）和非電解質(zhì)雜質(zhì)（如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等）含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
在材料表面層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。其量綱為Ω/□。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
在材料內(nèi)層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。其量綱為Ω·cm。
2.0.37 專用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時(shí)間 cleanliness vecoverly characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。
2.0.39 生物潔凈室 biological cleanroom
潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable particles
潔凈室懸浮在空氣中的菌落。
2.0.41 沉降菌 colony forming unit
潔凈室降落在培養(yǎng)皿上的菌落。
3 空氣潔凈度等級(jí)
3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)應(yīng)按表3.0.1確定。

3.0.2 空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測(cè)試方法按附錄C要求進(jìn)行。
4 總體設(shè)計(jì)
4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置
4.1.1 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:
1 應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。
2 應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，則應(yīng)位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。
3 應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。
4.1.3 潔凈廠房與交通干道之間的距離宜大于50m。
4.1.4 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道（可利用交通道路），如有困難，可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。
4.1.5 潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.1.6 潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜海粦?yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。
4.2 工藝平面布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)
4.2.1 工藝平面布置應(yīng)符合下列要求:
1 工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。
2 在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下，空氣潔凈度等級(jí)高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房，空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。
3 潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度等級(jí)高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。
4 應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。
5 不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí)，宜設(shè)有防止污染的措施，如緩沖間、氣閘室、傳遞窗等。
6 應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn)行清潔處理。
4.2.2 潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其它輔助用房應(yīng)分區(qū)布置。同時(shí)應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)。
4.2.3 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間，但在下列情況下應(yīng)予分隔:
1 按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。
2 生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。
4.2.4 在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下，潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施（如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等）的布置，應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。
4.3 人員凈化和物料凈化
4.3.1 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)需要設(shè)置生活用室和其它用室。
4.3.2 人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)為:
1 人員凈化用室，應(yīng)包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房間。
2 廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等其它用室，可根據(jù)需要設(shè)置。
4.3.3 人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求:
1 人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋措施。
2 存外衣和更潔凈工作服應(yīng)分別設(shè)置。
3 外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。
4 盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。
5 空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。
6 當(dāng)為5級(jí)以上垂直單向流潔凈室時(shí)，宜設(shè)氣閘室。
7 潔凈區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。
4.3.4 人流路線應(yīng)符合下列要求:
1 人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。
2 人員凈化用室和生活用室的布置，宜按圖4.3.4的人員凈化程序進(jìn)行布置。

4.3.5 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級(jí)和工作人員數(shù)量，潔凈廠房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般宜按潔凈區(qū)設(shè)計(jì)人數(shù)平均每人2～4m2計(jì)算。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜按低于相鄰潔凈區(qū)空氣潔凈度等級(jí)1～2級(jí)設(shè)置。
4.3.6 潔凈工作服洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)不宜低于8級(jí)。
4.3.7 潔凈室內(nèi)設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形狀等特征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過(guò)程中被污染。
4.4 噪聲控制
4.4.1 潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)），非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB（A）。
4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí)；各頻帶聲壓級(jí)值不宜大于表4.4.2中的規(guī)定。

4.4.3 潔凈廠房的平、剖面設(shè)計(jì)應(yīng)考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。
4.4.4 潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施（如隔聲間、隔聲罩等）。
4.4.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。
4.4.6 凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級(jí)要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用。
1 總風(fēng)管為6～10m/s。
2 無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4～6m/s。
3 有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2～5m/s。
4.5 微振控制
4.5.1 對(duì)有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮:
1 在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面及頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。
2 潔凈室與周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及其連接管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。
3 應(yīng)確定潔凈廠房?jī)?nèi)外各類振源對(duì)潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響，以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。
4.5.2 精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值，應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動(dòng)值時(shí)，可參照《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 22執(zhí)行。
4.5.3 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)具備下列條件:
1 周圍振源對(duì)其綜合影響的振動(dòng)數(shù)據(jù)。
2 設(shè)備、儀器儀表的型號(hào)、規(guī)格及輪廓尺寸圖。
3 設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。
4 設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖、附屬裝置、管道位置及坑、溝、孔洞尺寸、地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。
5 設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。
6 設(shè)備、儀器儀表的容許振動(dòng)值。
7 所選用或設(shè)計(jì)的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。
4.5.4 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設(shè)計(jì)應(yīng)考慮:
1 隔振臺(tái)座的剛度。
2 設(shè)備、儀器儀表運(yùn)行時(shí)，由于質(zhì)量及質(zhì)心位置的變化引起隔振臺(tái)座傾斜的校正措施。
3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15。
4 隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。
4.5.5 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振措施宜采用能自動(dòng)校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對(duì)供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理。
5 建筑
5.1 一般規(guī)定
5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
5.1.2 潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。
5.1.3 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。
5.1.4 送、回風(fēng)管和其它管線暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5 對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其平面布局和構(gòu)造處理，應(yīng)避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利的影響。
5.2 防火和疏散
5.2.1 潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
5.2.2 潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，應(yīng)按照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）分類。潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例見附錄A。
5.2.3 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房宜為單層，其防火分區(qū)最大允許建筑面積，單層廠房宜為3000m2，多層廠房宜為2000m2。丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈廠房其防火分區(qū)最大允許建筑面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定。
5.2.4 潔凈室的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。
5.2.5 在一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷措施。隔墻及其相應(yīng)頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1h，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0.6h。穿隔墻或頂棚的管線周圍空隙應(yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.6 技術(shù)豎井井壁應(yīng)為不燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1h。井壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0.6h；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng)于樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔；穿過(guò)水平防火分隔的管線周圍空隙，應(yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.7 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數(shù)目不應(yīng)少于2個(gè)，但符合下列要求的可設(shè)1個(gè):
1 對(duì)甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的潔凈區(qū)總建筑面積不超過(guò)50m2，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人數(shù)不超過(guò)5人。
2 對(duì)丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定設(shè)置。
5.2.8 安全出口應(yīng)當(dāng)分散布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不應(yīng)經(jīng)過(guò)曲折的人員凈化路線，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志，安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定。
5.2.9 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟，并加閉門器。安全疏散門不應(yīng)采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門、卷簾門以及電控自動(dòng)門。
5.2.10 潔凈廠房與潔凈區(qū)同層外墻應(yīng)設(shè)可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80m時(shí)，應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。
專用消防口的寬度應(yīng)不小于750mm，高度應(yīng)不小于1800mm，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。樓層的專用消防口應(yīng)設(shè)置陽(yáng)臺(tái)，并從二層開始向上層架設(shè)鋼梯。
5.2.11 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動(dòng)門以及寬度小于750mm、高度小于1800mm或裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為火災(zāi)發(fā)生時(shí)提供消防人員進(jìn)入廠房的入口。
5.3 室內(nèi)裝修
5.3.1 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。
5.3.2 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。
2 踢腳不應(yīng)突出墻面。
3 潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時(shí)宜干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用高級(jí)抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。
5.3.3 潔凈室地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈室地面應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
2 潔凈室地面應(yīng)平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。
3 地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)做防潮構(gòu)造。
5.3.4 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面應(yīng)平整、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。
5.3.5 潔凈室（區(qū)）外窗設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1 當(dāng)潔凈室（區(qū)）和人員凈化用室設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層玻璃固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性。
2 靠潔凈室室內(nèi)一側(cè)窗不宜設(shè)窗臺(tái)。
5.3.6 潔凈室內(nèi)的密閉門應(yīng)朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并加設(shè)閉門器，無(wú)窗潔凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。
5.3.7 潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密閉措施。
2 當(dāng)采用輕質(zhì)構(gòu)造頂棚做技術(shù)夾層時(shí)，夾層內(nèi)宜設(shè)檢修通道。
3 潔凈室窗宜與內(nèi)墻面齊平，不宜設(shè)窗臺(tái)。
5.3.8 潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù):頂棚和墻面宜為0.6～0.8，地面宜為0.15～0.35。
5.3.9 對(duì)8級(jí)以上的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。
5.3.10 設(shè)計(jì)選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GB 50222）的規(guī)定。
6 空氣凈化
6.1 一般規(guī)定
6.1.1 潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2 根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:
1 運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同。
2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對(duì)其它工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。
3 對(duì)溫、濕度控制要求差別大。
4 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。
6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。

6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:
1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。
2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
6.1.6 潔凈區(qū)的清掃:一般情況下宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器；對(duì)于1級(jí)到5級(jí)的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。
6.2 潔凈室壓差控制
6.2.1 潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。
6.2.2 不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差，應(yīng)不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差，應(yīng)不小于10Pa。
6.2.3 潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。
6.2.4 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序?yàn)橄葐?dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。
負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序與上述正壓潔凈室相反。
6.2.5 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。
6.3 氣流流型和送風(fēng)量
6.3.1 氣流流型的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求:
1 氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級(jí)的要求?？諝鉂崈舳鹊燃?jí)要求為1～4級(jí)時(shí)，應(yīng)采用垂直單向流；空氣潔凈度要求為5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用垂直單向流或水平單向流。
2 空氣潔凈度要求為6～9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流。
3 潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻。
4 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
6.3.2 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列三項(xiàng)中的最大值:
1 為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量。
2 根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量。
3 向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
6.3.3 為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量，按表6.3.3中有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算或按室內(nèi)發(fā)塵量進(jìn)行計(jì)算。

6.3.4 潔凈室內(nèi)各種設(shè)施的布置，應(yīng)考慮對(duì)氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應(yīng)符合下列要求:
1 單向流潔凈室內(nèi)不宜布置潔凈工作臺(tái)；非單向流潔凈室的回風(fēng)口宜遠(yuǎn)離潔凈工作臺(tái)。
2 需排風(fēng)的工藝設(shè)備宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。
3 有發(fā)熱設(shè)備時(shí)，應(yīng)采取措施減少熱氣流對(duì)氣流分布的影響。
4 余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風(fēng)側(cè)。
6.4 空氣凈化處理
6.4.1 空氣過(guò)濾器的選用、布置和安裝方式應(yīng)符合下列要求:
1 空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)合理選用空氣過(guò)濾器。
2 空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。
3 中效（高中效）空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段。
4 亞高效和高效空氣過(guò)濾器作為末端過(guò)濾器時(shí)宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效過(guò)濾器必須設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。
5 設(shè)置在同一潔凈區(qū)內(nèi)的高效（亞高效、超高效）空氣過(guò)濾器的阻力、效率宜相近。
6 高效（亞高效、超高效）空氣過(guò)濾器安裝前應(yīng)進(jìn)行檢漏，安裝應(yīng)嚴(yán)密，安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便、可靠，易于檢漏和更換。
6.4.2 對(duì)較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。
6.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。
6.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。
6.4.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器、電加濕器應(yīng)采取安全保護(hù)措施。寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
6.5 采暖通風(fēng)、防排煙
6.5.1 對(duì)8級(jí)以上的潔凈室不應(yīng)采用散熱器采暖。
6.5.2 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置。
6.5.3 在下列情況下，局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置:
1 排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性和發(fā)生交叉污染。
2 排風(fēng)介質(zhì)中有毒與無(wú)毒，毒性相差很大。
3 易燃、易爆與一般排風(fēng)。
6.5.4 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)采取下列措施:
1 防止室外氣流倒灌。
2 含有易燃、易爆局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火防爆。
3 排風(fēng)介質(zhì)中有害物濃度及排放量超過(guò)國(guó)家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時(shí)，應(yīng)進(jìn)行無(wú)害化處理。
4 對(duì)含有水蒸氣和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)坡度及排放口。
6.5.5 換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。
6.5.6 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)，手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點(diǎn)。
6.5.7 潔凈廠房疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙設(shè)施。潔凈室機(jī)械防排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須采取可靠的防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的要求。
6.6 風(fēng)管和附件
6.6.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置電動(dòng)密閉閥、調(diào)節(jié)閥；送、回風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥；潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動(dòng)密閉閥等。
6.6.2 下列情況之一的通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)設(shè)防火閥:
1 風(fēng)管穿越防火分區(qū)的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側(cè)。
2 風(fēng)管穿越通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機(jī)房的隔墻和樓板處。
3 垂直風(fēng)管與每層水平風(fēng)管交接的水平管段上。
6.6.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)風(fēng)閥、高效空氣過(guò)濾器的保護(hù)網(wǎng)、孔板、擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥、止回閥、電動(dòng)密閉閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
6.6.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上，應(yīng)采取消聲措施，滿足潔凈室內(nèi)噪聲要求。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上，應(yīng)采取消聲措施，滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。
6.6.5 在空氣過(guò)濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔或壓差計(jì)。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，宜設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。
6.6.6 風(fēng)管、附件及輔助材料的選擇應(yīng)符合下列要求:
1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。
2 排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，應(yīng)采用耐腐蝕的難燃材料。
3 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料，其耐火極限應(yīng)大于0.5h。
4 附件、保溫材料、消聲材料和粘結(jié)劑等均采用不燃材料或難燃材料。
7 給水排水
7.1 一般規(guī)定
7.1.1 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無(wú)關(guān)的管道不宜穿過(guò)。
7.1.2 管道外表面可能結(jié)露時(shí)，應(yīng)采取防護(hù)措施。防結(jié)露層外表面應(yīng)光滑易于清洗，并不得對(duì)潔凈室造成污染。
7.1.3 管道穿過(guò)潔凈室墻壁、樓板和頂棚時(shí)應(yīng)設(shè)套管，管道和套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。無(wú)法設(shè)置套管的部位也應(yīng)采取有效的密封措施。
7.2 給水
7.2.1 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各項(xiàng)用水對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求分別設(shè)置。管道的設(shè)計(jì)應(yīng)留有余量，以適應(yīng)工藝變動(dòng)。
7.2.2 水質(zhì)要求較高的純水供水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 循環(huán)附加水量為使用水量的30%～100%。
2 干管流速為1.5～3m/s。
3 不循環(huán)的支管長(zhǎng)度應(yīng)盡量短，其長(zhǎng)度不大于6倍管徑。
4 供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗口。
5 管道系統(tǒng)各組成部分必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象。
7.2.3 管材選擇應(yīng)符合下列要求:
1 純水管道的管材必須滿足生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求，根據(jù)需要可選擇不銹鋼管和聚氯乙烯（UPVC、CL-PVC）、聚丙烯（PP）、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（ABS）、聚偏氟乙烯（PVDF）等管材。
2 工藝設(shè)備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管。
3 管道配件應(yīng)采用與管道相應(yīng)的材料。
7.2.4 純水和冷卻水管道應(yīng)預(yù)留清洗口。
7.2.5 潔凈廠房周圍應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。
7.3 排水
7.3.1 排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水經(jīng)廢水處理，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排出。
7.3.2 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，排水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有完善的透氣裝置。
7.3.3 潔凈室內(nèi)的地漏等排水設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 空氣潔凈度等級(jí)高于6級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)設(shè)地漏。
2 6級(jí)潔凈室內(nèi)不宜設(shè)地漏，如必須設(shè)置時(shí)應(yīng)采用專用地漏。
3 等于或高于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不宜設(shè)排水溝。
4 等于或高于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)穿過(guò)排水立管；其它潔凈室內(nèi)穿過(guò)排水立管時(shí)不應(yīng)設(shè)檢查口。
7.3.4 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備、管道、管架及其附件。
7.3.5 潔凈廠房宜設(shè)置消防排水設(shè)施。
7.4 消防給水和滅火設(shè)備
7.4.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)，其設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性、建筑物耐火等級(jí)以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2 潔凈廠房的消防給水和固定滅火設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的要求。
7.4.3 潔凈室的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，同時(shí)使用水槍數(shù)不少于2支，水槍充實(shí)水柱長(zhǎng)度不小于10m，每只水槍的出水量應(yīng)按不小于5L/s計(jì)算。
7.4.4 潔凈廠房?jī)?nèi)各場(chǎng)所必須配置滅火器，其設(shè)計(jì)應(yīng)滿足現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置規(guī)范》（GBJ 140）的要求。
7.4.5 潔凈廠房?jī)?nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器的房間設(shè)置固定滅火設(shè)施時(shí)，除應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列要求:
1 當(dāng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，宜采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。
2 當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí)，不應(yīng)采用鹵代烷1211以及能導(dǎo)致人員窒息和對(duì)保護(hù)對(duì)象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。
8 氣體管道
8.1 一般規(guī)定
8.1.1 氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水、電管線共架時(shí)，應(yīng)設(shè)在其上部。與本房間無(wú)關(guān)的管道不應(yīng)穿過(guò)。
8.1.2 潔凈室的氣體管道及管架宜設(shè)裝飾面板。當(dāng)有可燃?xì)怏w管道時(shí)，應(yīng)敷設(shè)在裝飾面板外側(cè)，水平敷設(shè)時(shí)應(yīng)在其頂部。
8.1.3 高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:
1 按氣體流量、壓力或生產(chǎn)工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于Φ6×1mm。
2 管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
3 不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死角。
4 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必要的吹除口和取樣口。
8.1.4 氣體管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃?xì)怏w和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施?？扇?xì)怏w還應(yīng)符合本規(guī)范第8.4.2條的要求。
8.1.6 氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度要求進(jìn)行選擇和配置。氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處。
8.1.7 氣體過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度要求進(jìn)行選擇和配置。高純氣體終端過(guò)濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。
8.1.8 進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)在氣體入口室。
8.1.9 甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)用氣體入口室的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 毗連布置時(shí)，宜設(shè)在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處。
2 應(yīng)有良好的通風(fēng)。
3 泄壓面積和電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）、《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50058）的規(guī)定執(zhí)行。
8.2 管道材料和閥門
8.2.1 氣體管道材料和閥門的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、露點(diǎn)的要求和使用特點(diǎn)，并按氣體性質(zhì)，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。
8.2.2 高純氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，按下列規(guī)定選用:
1 氣體純度大于或等于99.999%，露點(diǎn)低于-76℃，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L）或內(nèi)壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
2 氣體純度大于或等于99.99%，露點(diǎn)低于-60℃，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其它氣體管道宜采用球閥。
8.2.3 干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于-70℃，應(yīng)采用內(nèi)壁拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）；露點(diǎn)低于-40℃，宜采用0Cr18Ni9不銹鋼管（304）或熱鍍鋅無(wú)縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4 閥門材質(zhì)宜與相連接管道材質(zhì)相適應(yīng)。
8.3 管道連接
8.3.1 氣體管道連接，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 管道連接應(yīng)采用焊接，但熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料應(yīng)符合本規(guī)范第8.3.3條的要求。
2 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對(duì)接焊或承插焊連接，但高純氣體管道宜采用內(nèi)壁無(wú)斑痕的對(duì)接焊。
8.3.2 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)宜采用金屬軟管。
8.3.3 管道與閥門的連接，應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 高純氣體管道與閥門連接的密封材料，按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求宜采用金屬墊或雙卡套。
2 螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氟乙烯。
8.4 安全技術(shù)
8.4.1 下列部位應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖:
1 甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)的氣體入口室。
2 管廊，上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w管道的易積聚處。
3 潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處。
8.4.2 可燃?xì)怏w管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施:
1 接至用氣設(shè)備的支管和放散管，應(yīng)設(shè)置阻火器。 
2 引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)防雷保護(hù)設(shè)施。
3 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.3 氧氣管道應(yīng)設(shè)下列安全技術(shù)措施:
1 管道及其閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理。
2 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.4 氣體管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識(shí)。
8.4.5 各種氣瓶庫(kù)應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，但必須采取不積塵和易于清潔的措施。
9 電氣
9.1 配電
9.1.1 潔凈廠房低壓配電電壓應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。
9.1.2 潔凈廠房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求應(yīng)根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50052）和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源（UPS）。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專線供電。
9.1.3 潔凈廠房的消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計(jì)應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）規(guī)定執(zhí)行。
9.1.4 電源進(jìn)線（不包括消防用電）應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點(diǎn)。
9.1.5 潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。
9.1.6 潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。
9.2 照明
9.2.1 潔凈室內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達(dá)不到設(shè)計(jì)要求時(shí)，也可采用其它形式光源。
9.2.2 潔凈室內(nèi)一般照明燈具為吸頂明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，其安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。
潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用格柵型燈具。
9.2.3 無(wú)采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應(yīng)低于表9.2.3規(guī)定的數(shù)值。

9.2.4 無(wú)采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應(yīng)按各視覺等級(jí)相應(yīng)混合照度值的10%～15%確定，并不低于200lx。
9.2.5 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
9.2.6 潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:
1 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。
2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
3 備用照明應(yīng)滿足所需場(chǎng)所或部位進(jìn)行必要活動(dòng)和操作的最低照度。
9.2.7 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。
9.3 通信
9.3.1 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房?jī)?nèi)外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)區(qū)與其它工段的聯(lián)系，宜設(shè)生產(chǎn)對(duì)講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3 潔凈廠房的生產(chǎn)區(qū)（包括技術(shù)夾層）、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，其位置不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防控制室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機(jī)。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GBJ 16）及《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50116）的規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火災(zāi)報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，并應(yīng)進(jìn)行如下消防聯(lián)動(dòng)控制:
1 啟動(dòng)室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號(hào)。除自動(dòng)控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動(dòng)直接控制裝置。
2 關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)及新風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)。
3 關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門、防火卷簾門。
4 控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈燃亮。
5 在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。
6 啟動(dòng)火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音機(jī)，進(jìn)行人工或自動(dòng)播音。
7 控制電梯降至首層，并接收其反饋信號(hào)。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體的貯存、使用場(chǎng)所，管道入口室及管道閥門等易泄漏的地方，應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w探測(cè)器。有毒氣體的貯存、使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)氣體檢測(cè)器。報(bào)警信號(hào)應(yīng)聯(lián)動(dòng)啟動(dòng)或手動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)。并應(yīng)將報(bào)警信號(hào)送至消防控制室。
9.4 自動(dòng)控制
9.4.1 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動(dòng)監(jiān)控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)機(jī)宜選用變頻調(diào)速控制。
9.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)電加熱器，應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)。若采用電加濕器時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)。寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
9.5 靜電防護(hù)及接地
9.5.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求設(shè)靜電防護(hù)措施。
9.5.2 潔凈室內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列要求:
1 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間性能穩(wěn)定。
2 地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×105～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104～1.0×1011Ω·cm。
3 地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105～1.0×109Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)，應(yīng)采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50058）的有關(guān)規(guī)定。
9.5.5 防靜電接地系統(tǒng)，應(yīng)分別不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格，或閉合的接地銅排環(huán)。銅排截面不應(yīng)小于100mm2，防靜電接地引線應(yīng)從等電位的接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地連接。接地引線應(yīng)使用多股銅線，導(dǎo)線截面不應(yīng)小于1.5mm2。
防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應(yīng)設(shè)置等電位的防靜電接地基準(zhǔn)板，從基準(zhǔn)板上引出接地主干線，其銅導(dǎo)體截面不應(yīng)小于95mm2，并應(yīng)采用絕緣屏蔽電纜。接地主干線應(yīng)與設(shè)置在防靜電區(qū)域內(nèi)的接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)連接。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。 
9.5.6 潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。直流工作接地的基準(zhǔn)電位應(yīng)取自總等位銅排，接地導(dǎo)線與銅排做單點(diǎn)連接。主干線截面不應(yīng)小于95mm2，支干線截面不應(yīng)小于35mm2。
9.5.7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50057）的規(guī)定。